ASML CEO: 中国已研发出自主可控的光刻机

作为全球光刻机巨头，ASML的一言一行，都倍受关注，毕竟它是全球唯一能够制造EUV光刻机的厂商，其光刻机份额，更是超过85%。

可以说，如果ASML不谁给供应光刻机了，那么谁的芯片技术，将大受影响，特别是7nm以下芯片，都离不开ASML的EUV光刻机。

而近日，ASML CEO富凯，面对媒体采访时表示，中国已经研发出了一些自主可控的光刻设备，虽然在赶超ASML的技术方面还有很长的路要走，但是他认为，无论你怎么限制都没有用，反而“你试图阻止的人会更加努力地取得成功”。

其实他的的说法，就是直指美国的禁令，他的意思是，越是限制，中国在光刻机技术上发展的可能就会越快，设置的障碍越多，就会让对方越努力。

对ASML而言，当然是非常担心中国研发出自己的光刻机的。

一方面是中国是ASML最大的市场之一，一旦中国不买ASML的光刻机，那么ASML是直接受影响的，所以ASML当然希望自己的光刻机，能够敞开供应给中国，赚到手里的才是钱。

第二则是中国一旦研发出光刻机，那么将打破整个光刻机格局，ASML想一家独大就难了，要知道团结中国周边可是有很多国家的，一旦中国有自主光刻机，这些国家肯定会找中国买，那ASML怎么办？

那么中国能不能研发出自己的光刻机？事实上，中国早就研发出来了，不过只是DUV光刻机，这种光刻机，还达不到浸润式的水平。

去年的数据显示，中国有了氟化氩光刻机，分辨率小于等于65nm，套刻精度小于等于8nm。

而根据光刻机与芯片工艺的对应关系，这种普通的DUV光刻机，实际上最多也就生产65nm左右的芯片，就算多重曝光，也可能在28nm左右。所以ASML才会说与ASML还有较远的差距。

但是ASML明白，只要中国肯研发，加倍努力，并不是研发不出来的，毕竟光刻机也是人造的，不是神造的，ASML再封锁，美国再封锁，总会被研发出来的。

特别是现在ASML的EUV光刻机，也陷入死胡同的情况之下，ASML在原地踏步，中国在后面追，追上的可能性还是非常大的，所以ASML当然很担心，越来越希望美国别禁了，这样ASML就可以大量出货，一是自己赚钱，二是说不定还能够阻挡中国研发，毕竟能够买到了，情况又不一样了嘛。